【摘 要】
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为了提高980nm垂直腔面发射激光器（VCSEL）列阵的整体性能,对列阵单元器件的分布布拉格反射镜（DBR）的反射率进行了优化。分析了DBR的反射率与阈值电流,输出功率及转换效率之间的关
【机 构】
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中国科学院长春光学精密机械与物理研究所激发态物理重点实验室,中国科学院研究生院
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为了提高980nm垂直腔面发射激光器（VCSEL）列阵的整体性能,对列阵单元器件的分布布拉格反射镜（DBR）的反射率进行了优化。分析了DBR的反射率与阈值电流,输出功率及转换效率之间的关系,在维持较低阈值电流的前提下适当调节了N-DBR的反射率,使单元器件斜率效率得到了有效提高,进而改善了VCSEL列阵的整体输出特性。优化DBR反射率后研制出的包含64个单元的VCSEL列阵器件在注入电流为6A时的连续输出功率为2.73W;在脉宽为100ns,重复频率为100Hz的130A脉冲电流驱动下输出功率达到115W
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