【摘 要】
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在用扫描电子显微镜和俄歇电子能谱仪观测集成电路表面的时候,我们曾经看到集成电路中的铝沿着二氧化硅的表面扩散。根据铝俄歇电子的分布曲线,我们计算了铝在二氧化硅表面上
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在用扫描电子显微镜和俄歇电子能谱仪观测集成电路表面的时候,我们曾经看到集成电路中的铝沿着二氧化硅的表面扩散。根据铝俄歇电子的分布曲线,我们计算了铝在二氧化硅表面上的扩散系数和激活能。
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