微机电系统用电铸镍铁合金的制备及其电磁性能

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研究了电铸镍铁合金制备过程中工艺条件对电铸层成分的影响,获得含铁质量分数20%电铸层的最佳工艺条件为镀液硫酸亚铁含量6g/L、pH值2.5、温度55℃、电流密度3.5A/dm^2;讨论了镀层形貌及电磁性能的变化关系。结果表明:制备的镀层表面光亮、结构致密,晶面为(111)、(220)、(200)。该铸镍铁合金矫顽力最小为2.95×10^-2A/m,表现出较强的顺磁性。剩磁力随着铸层铁含量的增大呈下降趋势,饱和磁化强度为U85合金的10%,具有优良的电磁性能。可以用于制造微型磁执行器与传感器元件。
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