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液滴外延自组织GaAs纳米结构
液滴外延自组织GaAs纳米结构
来源 :半导体学报 | 被引量 : 0次 | 上传用户:zhuyanhua421
【摘 要】
:
介绍了利用液滴外延法在晶格匹配体系AlGaAs/GaAs上自组织生长几种GaAs纳米结构.实验证实Ga液滴的形貌随晶化温度和As束流的不同而发生变化,形成一些有趣的GaAs纳米结构,如量
【作 者】
:
詹锋
黄社松
倪海桥
赵欢
熊永华
周宏余
牛智川
【机 构】
:
北京师范大学材料科学与工程系
【出 处】
:
半导体学报
【发表日期】
:
2007年z1期
【关键词】
:
液滴外延
量子点
量子单环
量子双环
【基金项目】
:
国家自然科学基金,国家高技术研究发展计划和国家重大基础研究专项基金资助项目
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介绍了利用液滴外延法在晶格匹配体系AlGaAs/GaAs上自组织生长几种GaAs纳米结构.实验证实Ga液滴的形貌随晶化温度和As束流的不同而发生变化,形成一些有趣的GaAs纳米结构,如量子点、量子单环、量子双环、耦合量子双环和中国古币形状等.本文对这些纳米结构的生长机制进行了讨论.
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