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阴极电弧离子沉积TiN/Ti镀层腐蚀特性
阴极电弧离子沉积TiN/Ti镀层腐蚀特性
来源 :稀有金属材料与工程 | 被引量 : 0次 | 上传用户:lambkin
【摘 要】
:
采用电化学线性极化、交流阻抗谱技术研究了不同基片偏压上阴极电弧沉积TiN/Ti镀层在50×10-6g/g Cl-溶液中的腐蚀行为,并对镀层腐蚀的机理进行了探讨.结果表明:基片偏压
【作 者】
:
鲜晓斌
王庆富
刘柯钊
刘清和
【机 构】
:
中国工程物理研究院
【出 处】
:
稀有金属材料与工程
【发表日期】
:
2005年11期
【关键词】
:
基片偏压
TiN/Ti镀层
针孔
腐蚀
substrates bias voltage
TiN/Ti coatings
surface work funct
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采用电化学线性极化、交流阻抗谱技术研究了不同基片偏压上阴极电弧沉积TiN/Ti镀层在50×10-6g/g Cl-溶液中的腐蚀行为,并对镀层腐蚀的机理进行了探讨.结果表明:基片偏压-400V时,镀层耐蚀性能好;镀层表面的针孔是诱发镀层和基材体系发生点蚀、电偶腐蚀的主要缺陷.
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