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本文概括介绍了双面对准曝光机的应用范围、种类，着重介绍了我所研制的ＢＧ—７０３型双面对准曝光机的性能、结构特点及有关技术措施。
双面对准曝光设备
【摘 要】
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本文概括介绍了双面对准曝光机的应用范围、种类，着重介绍了我所研制的ＢＧ—７０３型双面对准曝光机的性能、结构特点及有关技术措施。
【机 构】
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电子工业部第４５研究所
【出 处】
：
电子工业专用设备
【发表日期】
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1994年3期
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