【摘 要】
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第四节真空微蒸发镀覆技术原理rn1 关键技术rn1.1 镀覆温度必须低于800℃,高于600℃.真空微蒸发镀覆温度650～750℃rn为了保证镀覆Ti过程中,金刚石表面有碳化物层形成,温度应选
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第四节真空微蒸发镀覆技术原理rn1 关键技术rn1.1 镀覆温度必须低于800℃,高于600℃.真空微蒸发镀覆温度650～750℃rn为了保证镀覆Ti过程中,金刚石表面有碳化物层形成,温度应选择高于C与Ti反应温度,为此我们首先采用真空磁控溅射方法对金刚石镀Ti.由于镀覆温度低,钛层只是物理吸附在金刚石表面.
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