【摘 要】
：
薄膜厚度均匀性是衡量薄膜质量和镀膜装置性能的一项重要指标。在自行设计的磁控溅射沉积设备上,对薄膜沉积工艺中靶基间距、溅射功率、工作气压对膜厚均匀性的影响进行了研
论文部分内容阅读
薄膜厚度均匀性是衡量薄膜质量和镀膜装置性能的一项重要指标。在自行设计的磁控溅射沉积设备上,对薄膜沉积工艺中靶基间距、溅射功率、工作气压对膜厚均匀性的影响进行了研究,由连续光谱椭圆偏光仪SE800测量薄膜厚度。结果表明:靶基间距较大的情况下,薄膜均匀性明显改善;溅射功率和工作气压对薄膜均匀性也有较大的影响。
其他文献
<正> 韩愈是我国中唐时代杰出的散文家、诗人、哲学家。他在散文方面的成就,历代评论者几乎都异口同声地给予了最高的评价。和他同时代的刘禹锡,就称他为"文章盟主",说他"手
加强国有企业纪检监察工作是推动国有企业改革与发展的重要保障。在深化国资监管和国有企业改革的背景下,国有企业纪检监察组织应适应纪律检查体制改革的要求,积极探索在转职
<正> (一) 英国学者赫伯特·里德(Herbert Read)在谈到中国古代的陶瓷艺术时说:“中国的花瓶不仅早现出数的关系,而且表现出生命运动,它不是水晶玻璃,而是一朵鲜花。”这句话
<正>2013年,全球影业"大数据"热潮持续升温。6月谷歌发布了《用谷歌搜索量化电影魔力》白皮书,立刻触发了一系列有关"大数据"驱动影业创新的讨论。与此同时,中国影业捷报频传
大数据时代,来自硬件的数字鸿沟在缩小,而来自软件的数字鸿沟在扩大。拥有数据、分析数据和大数据思维等,成为分析数字鸿沟的三个维度。消弭大数据时代的数字鸿沟,需要把握三
目前,我国篮球后备人才存在着数量萎缩、训练理念陈旧、缺少比赛锻炼、“读训矛盾”尖锐、资金短缺等诸多弊端,这是导致目前我国篮球运动水平下滑的主要因素,本研究就改革培
本文从涵化论的视角出发,分析了当前中国影视动画中的媒介暴力对儿童的负面影响,并提出了制定动漫分级制度,内容生产商自律,媒介内容播出平台严格遵守媒介伦理道德和家长加强
<正> 十六世纪明朝嘉靖、隆庆年间的抗倭斗争,是我国历史上的一件大事。面对倭寇的进犯,明军腐败,无力抵御。嘉靖三十四年(1555年),戚继光(山东蓬莱人)由登州卫指挥佥事调浙
对浙江省景宁县石印山公园针叶林(马尾松)、阔叶林、竹林3种主要森林类型的空气湿度、空气负氧离子浓度进行监测,结果表明,3种森林类型空气负氧离子浓度与空气湿度呈正相关关