一种晶圆搬运机械手的运动学仿真研究

来源 :机械制造 | 被引量 : 0次 | 上传用户：facekr

【摘要】

：

对一种搬运机械手的结构及相关参数进行了设计,介绍了该机械手的运动原理,运用代数法对机械手的关节角和末端执行器坐标之间的关系进行了数学计算,得到了机械手的运动学方程.

【作者】

：

唐超

【机构】

：

贵州航天林泉电机有限公司控制工程部

【出处】

：

机械制造

【发表日期】

：

2014年5期

【关键词】

：

搬运机械手运动学仿真 ADAMS

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对一种搬运机械手的结构及相关参数进行了设计,介绍了该机械手的运动原理,运用代数法对机械手的关节角和末端执行器坐标之间的关系进行了数学计算,得到了机械手的运动学方程.结合机械手的实际工况,运用ADAMS软件对机械手进行了正向运动学与逆向运动学仿真分析,得到了机械手的相关动态参数,为机械手的控制提供了科学依据.

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