论文部分内容阅读
应用圆筒形行波压电振子设计了流体振动抛光装置。选取压电振子第十阶弯曲模态作为硅片抛光实验的工作模态，利用化学机械抛光浆料作为抛光液体，对不同表面形貌的硅片进行了抛光实验。实验结果表明硅片表面粗糙度得到改善。该方法也说明流体振动抛光更加适用于对已经具有较高表面平整度的抛光片进行二次抛光。
应用圆筒形行波压电振子的流体抛光实验研究
【摘 要】
：
应用圆筒形行波压电振子设计了流体振动抛光装置。选取压电振子第十阶弯曲模态作为硅片抛光实验的工作模态，利用化学机械抛光浆料作为抛光液体，对不同表面形貌的硅片进行了抛光
【机 构】
：
辽宁工业大学振动工程研究所
【出 处】
：
辽宁工业大学学报(自然科学版)
【发表日期】
：
2014年5期
其他文献
结合LabVIEW软件和PCI-6221数据采集卡，开发出基于虚拟仪器的电控硅油风扇离合器性能测试系统。该测试系统通过控制变频电机驱动硅油风扇离合器运转，并对其进行分离与耦合特性
提高有线电视服务质量,是广大有线电视用户的期盼,也是有线电视生存与发展的需要.有线电视故障处理是服务工作的主要内容,也是服务质量较难控制和提高的环节.用CTI技术构建的
通过有源Maxwell方程对应的电磁场矢量波动方程,利用时域Green函数方法,结合电磁场边界条件,推导出线性、均匀、各向同性的水平层状介质中瞬变波动场入射波的直接时域解析公
以ZL108合金为原料，添加石墨及稀土（Ce）制备了含石墨铝硅合金。观察了含石墨铝硅合金固溶时效处理的微观组织并测定了其硬度，考察了其在不同载荷、不同乙醇滴速条件下的磨损性能
建立了乙氧基化管式反应器的数学模型，考察了参数对反应器温度分布的影响，认为反应器具有较强的参数敏感性，冷却剂进口温度是影响反应器温度分布的主导因素，分析了反应器的参数敏
研究目的：根据钢管拱折线（弧形）拱肋的结构特点，找出将拱肋节段对接成折线（弧形）时，影响采用埋弧自动焊时焊点位置、速度变化和结构质量平衡的不利因素。并通过运动学分析与计算，提出