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准分子激光器是紫外区的一种大功率激光器，与采用CO2激光器或YAG石榴石 激光器的传统热加工不同，用准分子激光器有可能进行非热平衡、低温和微细加工。因此，这种激光器将来很有可能用作新一代半导体处理的光源。
高重复频率大功率准分子激光器
【摘 要】
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准分子激光器是紫外区的一种大功率激光器，与采用CO2激光器或YAG石榴石 激光器的传统热加工不同，用准分子激光器有可能进行非热平衡、低温和微细加工。因此，这种激光器将来很有可能用作新一代半导体处理的光源。
【出 处】
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激光与光电子学进展
【发表日期】
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1987年24期
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