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在量子化学对SiH与HCl反应计算的基础上，运用统计热力学和Wigner校正的Eyring过渡态理论计算了该反应在73．15－1873．15K温度范围内的热力学函数、平衡常数、频率因子A和速率常数随温度的变化。计算结果表明该反应在低温下具有热力学优势，而在高温下具有动力学优势。该反应在研究的温度范围内是一放热、熵减少的反应，反应的速率常数随温度的升高而增大，而且服从Arrhenius定律。