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对相同工艺制作但基区掺杂浓度不同的国产NPN双极晶体管，在不同剂量率条件下进行60Co γ辐照效应和退火特性研究。结果显示，晶体管基区掺杂浓度不同，对高、低剂量率的辐照响应也不相同，低基区掺杂浓度的晶体管辐照损伤明显高于高基区掺杂浓度的晶体管。
不同基区掺杂浓度NPN双极晶体管电离辐照效应
【摘 要】
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对相同工艺制作但基区掺杂浓度不同的国产NPN双极晶体管，在不同剂量率条件下进行60Co γ辐照效应和退火特性研究。结果显示，晶体管基区掺杂浓度不同，对高、低剂量率的辐照响应也
【机 构】
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中国科学院新疆理化技术研究所,新疆电子信息材料与器件重点实验室,中国科学院研究生院,模拟集成电路国家重点实验室
【出 处】
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原子能科学技术
【发表日期】
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2010年B09期
【基金项目】
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国家自然科学基金资助项目（10975182）
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