【摘 要】
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为测量MEMS谐振器周期运动过程中各个时刻的运动特性及其动态特性参数,结合微器件的特征,利用光学的方法对MEMS器件进行了运动分析。提出了基于相位相关与块匹配相结合的运动
【机 构】
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北京化工大学信息科学与技术学院,北京化工大学信息科学与技术学院,天津大学精密测试技术及仪器国家重点实验室,天津大学精密测试技术及仪器国家重点实验室,天津大学精密测试技术及仪器国家重点实验室 北京100
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为测量MEMS谐振器周期运动过程中各个时刻的运动特性及其动态特性参数,结合微器件的特征,利用光学的方法对MEMS器件进行了运动分析。提出了基于相位相关与块匹配相结合的运动检测技术,并对MEMS器件的运动图像序列做了分析与处理,得到了其动态特性参量,为MEMS器件的设计提供了重要参考。实验结果表明,该方法具有较好的测量精度和测量速度,测量重复性可达到44nm。
In order to measure the motion characteristics and dynamic characteristics of MEMS resonators at each moment during the periodic motion, the MEMS devices are analyzed by the optical method with the characteristics of micro-devices. A motion detection technique based on phase correlation and block matching is proposed. The moving image sequences of MEMS devices are analyzed and processed. The dynamic characteristic parameters are obtained, which provide an important reference for the design of MEMS devices. Experimental results show that this method has better measurement accuracy and measurement speed, and the repeatability of measurement can reach 44nm.
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