【摘 要】
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关于微泵的研制起始于20世纪80年代[1],现已研制开发出很多种类的微泵,如可以用多种驱动力驱动的机械微泵(压电驱动、静电驱动和热气动力驱动等)[2]和以场感应流微泵为主的非
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关于微泵的研制起始于20世纪80年代[1],现已研制开发出很多种类的微泵,如可以用多种驱动力驱动的机械微泵(压电驱动、静电驱动和热气动力驱动等)[2]和以场感应流微泵为主的非机械微泵(包括电渗泵、磁液态动力泵和电液态动力泵等[3]).机械微泵的制造工艺复杂,而且液流有脉动性;场感应流微泵的液流无脉动性,流速范围可在每分钟几纳升到每分钟几百微升之间变化,因此被微流控系统广泛采用,但这种微泵需要庞大的驱动器,使用不便.……
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