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【摘 要】
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铝栅自对准电路具有集成度高和性能价格比高等优点。本文从离子注入与合金(退火)两方面着手,研究铝栅自对准工艺。成功地研制出可与国外样品互换的铝栅自对准电路。
【机 构】
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华晶电子集团公司中央研究所一室,华晶电子集团公司中央研究所一室江苏无锡214035,江苏无锡214035,江苏无锡214035
【出 处】
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微电子学
【发表日期】
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1992年1期
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