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本文介绍了MCM芯片制造过程,MCM的关键工艺技术,重点介绍了MCM多层金属化及其湿式刻蚀技术.
MCM多层金属化及刻蚀技术研究
【摘 要】
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本文介绍了MCM芯片制造过程,MCM的关键工艺技术,重点介绍了MCM多层金属化及其湿式刻蚀技术.
【机 构】
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东北微电子研究所,沈阳工程学院电力系
【出 处】
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微处理机
【发表日期】
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2005年1期
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