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电流效率是熔盐直接电解脱氧制备多晶硅的一项重要指标，它涉及到电解槽的产量和电耗。如何提高熔盐电解的电流效率对多晶硅的单位时间产量、降低单位电耗等具有重要意义。采用CaCl2为电解质、SiO2粉末压制片为阴极及自制石墨棒为阳极进行了实验研究。在具体实验中测定了制备多晶硅过程中电流效率随电解时间、温度、电流密度及电极间距的变化关系。结果表明，当电解时间为6-10h、电解温度为800-900℃、电流密度为0．78～1．20A／cm^2、电极间距为4-7cm时，电解效率较高。