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薄膜内应力严重影响薄膜在实际中的应用．该文采用有限元模型对SiO2薄膜热应力进行模拟计算，验证了模型的准确性．计算了薄膜热应力的大小和分布，分析了不同镀膜温度、不同膜厚和不同基底厚度生长环境下热应力的大小，得到了相应的变化趋势图，对薄膜现实生长具有一定的指导意义．
SiO2薄膜热应力模拟计算
【摘 要】
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薄膜内应力严重影响薄膜在实际中的应用．该文采用有限元模型对SiO2薄膜热应力进行模拟计算，验证了模型的准确性．计算了薄膜热应力的大小和分布，分析了不同镀膜温度、不同膜厚和不
【机 构】
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华南师范大学物电学院,新疆医科大学物理教研室
【出 处】
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华南师范大学学报：自然科学版
【发表日期】
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2009年1期
【基金项目】
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国家自然科学基金资助项目（10575039）
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