【摘 要】
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利用离子束溅射结合后退火处理的方法制备了WO3-x(0≤x≤1)薄膜,系统研究了不同退火气氛、退火温度和退火时间等条件对WO3-x薄膜的晶体结构以及电学、光学和电致变色特性的影
【机 构】
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常州大学微电子与控制工程学院电子科学与技术实验中心,江苏常州213164;厦门大学物理科学与技术学院中国-澳大利亚功能纳米材料联合实验室,福建厦门361005;东南大学东南大学-FEI纳皮米中心,南京
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利用离子束溅射结合后退火处理的方法制备了WO3-x(0≤x≤1)薄膜,系统研究了不同退火气氛、退火温度和退火时间等条件对WO3-x薄膜的晶体结构以及电学、光学和电致变色特性的影响.研究发现,当退火温度超过WO3结晶温度后,特别是在湿氧气氛下,退火温度越高、退火时间越长,WO3-x薄膜的结晶度越好,除W03主晶相显著增强以外,还会陆续出现O29W10、O49W18和WO2等缺氧相;在干氧条件下,更高的退火温度和更长的退火时间都有助于降低WO3-x薄膜的电阻值,也都有助于WO3-x薄膜可见光透过率的提升;WO3-x薄膜电致变色器件在632.8 nm波长处的光学调制值达到了70％左右,表现出良好的电致变色特性.
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