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介绍了退火自动化上下料设备的功能,说明了该设备产生的不合格硅片的几种表现,分析了硅片产生不良的原因,详细说明了降低不良率采取的措施。
退火自动化上下料设备提升良品率的措施
【摘 要】
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介绍了退火自动化上下料设备的功能,说明了该设备产生的不合格硅片的几种表现,分析了硅片产生不良的原因,详细说明了降低不良率采取的措施。
【机 构】
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中国电子科技集团公司第二研究所
【出 处】
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山西电子技术
【发表日期】
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2018年3期
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