【摘 要】
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晶圆测试每完成一片晶圆都会生成一张测试Map,在晶圆没有进行研磨、划片、挑粒和键合等封装工序之前,这张测试Map就是这片晶圆的“身份证”。“身份证”办理通常分为首次“申领”和“补办”等,首次“申领”适用于晶圆常规测试流程,“补办”适用于二次及以上处理,其场景包括但不限于测试数据存在但测试Map丢失、客户提供电子Map要求测试但非探针台接受格式等情况。测试Map补办“身份证”的需求促使测试Map的“重生”技术应运而生。以TSK系列探针台为例,介绍了测试Map“重生”的技术流程,为这一特殊生产流程的进一步研究
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晶圆测试每完成一片晶圆都会生成一张测试Map,在晶圆没有进行研磨、划片、挑粒和键合等封装工序之前,这张测试Map就是这片晶圆的“身份证”。“身份证”办理通常分为首次“申领”和“补办”等,首次“申领”适用于晶圆常规测试流程,“补办”适用于二次及以上处理,其场景包括但不限于测试数据存在但测试Map丢失、客户提供电子Map要求测试但非探针台接受格式等情况。测试Map补办“身份证”的需求促使测试Map的“重生”技术应运而生。以TSK系列探针台为例,介绍了测试Map“重生”的技术流程,为这一特殊生产流程的进一步研究
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