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采用激光刻槽的方法制备电池背面结构，用化学腐蚀的方法对槽区进行清槽和刻蚀损伤层处理。当激光刻槽工艺参数为I=7．4A，v=50mm／s，激光步长为20um时，通过改变腐蚀溶液浓度n、腐蚀温度r、和腐蚀时间t等工艺参数，可以有效控制槽区的几何形状。结果发现，当n=12％（w／v）、T=80℃、t=20～30min时，所得槽区表面平整光滑而侧壁垂直陡峭，同时损伤层也得到较为理想的刻蚀效果，能满足后续工艺的制备要求。激光刻槽工艺简单效率高，在保证电池效率的基础上降低了成本，适合EWT背结电池产业化。