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由于测量空间限制和孔本身的特点，孔径测量难度较大。本文设计一种简单易行、高精确度的测量方案，并对孔径载物台进行了设计。其干涉原理采用迈克尔逊干涉原理，数据的采集则采用CCD传感器。可以在大多数情况下实现孔径的测量，其测量精度达到微米级别。
基于迈克尔逊干涉原理的孔径测量及装置设计
【摘 要】
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由于测量空间限制和孔本身的特点，孔径测量难度较大。本文设计一种简单易行、高精确度的测量方案，并对孔径载物台进行了设计。其干涉原理采用迈克尔逊干涉原理，数据的采集则采用
【机 构】
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哈尔滨量具刃具集团有限责任公司,中国计量学院
【出 处】
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工具技术
【发表日期】
：
2013年4期
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