【摘 要】
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为了提高透明导电薄膜的综合性能,采用磁控溅射法制备了Ta掺杂ITO(ITTO)薄膜,对薄膜在不同模拟环境介质溶液中的电学稳定性及电化学行为进行了测试,分析了处于特定介质环境中
【机 构】
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常州机电职业技术学院,常州中科常泰等离子体技术有限公司,中国科学院上海技术物理研究所,
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为了提高透明导电薄膜的综合性能,采用磁控溅射法制备了Ta掺杂ITO(ITTO)薄膜,对薄膜在不同模拟环境介质溶液中的电学稳定性及电化学行为进行了测试,分析了处于特定介质环境中薄膜的相对电阻变化和表面形貌;基于薄膜表面接触角的测量,计算了薄膜的表面能和极性度。结果表明:薄膜在各环境介质中都发生了自钝化现象,ITTO薄膜显示了较好的化学稳定性和热稳定性,除了晶体结构的影响之外,稳定性较好的氧化钽也提高了薄膜的化学稳定性和热稳定性;掺杂使得薄膜的接触角减小,表面能增大,表面极性度增加,薄膜的表面状态和靠近费米能级处引入d轨道的活性高价原子的存在是促进表面能提高的主要原因。
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