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综述微电子技术的历史发展和重要地位,重点介绍其新材料和制备工艺的进展,新材料方面主要介绍几种重要的化合物半导体,并对其发展问题和前景进行展望。
微电子技术发展和展望
【摘 要】
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综述微电子技术的历史发展和重要地位,重点介绍其新材料和制备工艺的进展,新材料方面主要介绍几种重要的化合物半导体,并对其发展问题和前景进行展望。
【机 构】
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黄石理工学院计算机学院,华中科技大学电子科学与技术系
【出 处】
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舰船电子工程
【发表日期】
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2007年05期
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