【摘 要】
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本文分析了常规场效应管MOSFET的耐压与导通电阻间的矛盾,族化合物半导体场效应管的研究进展情况,阐述了结构场效应管的制作工艺原理、制备方法、材料结构及器件的电学性能。
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本文分析了常规场效应管MOSFET的耐压与导通电阻间的矛盾,族化合物半导体场效应管的研究进展情况,阐述了结构场效应管的制作工艺原理、制备方法、材料结构及器件的电学性能。指出了当前存在的工艺困难,并展望了进一步的发展趋势。
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