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分析了纵弯式压电微电机的驱动机理,提出了电机驱动臂的设计方法.研制了直径为5 mm的纵弯式压电微电机并进行了实验研究.
纵弯式压电微电机研究
【摘 要】
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分析了纵弯式压电微电机的驱动机理,提出了电机驱动臂的设计方法.研制了直径为5 mm的纵弯式压电微电机并进行了实验研究.
【机 构】
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大连理工大学机械系,大连理工大学机械系微电研究中心
【出 处】
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中国机械工程
【发表日期】
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2001年6期
【基金项目】
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国家高技术研究发展计划(863计划)，国家自然科学基金，辽宁省博士科研项目
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