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本文在大量研究的基础上，说明了可能作为加速度计操作原理的几种方案，介绍了这几种方案的基本原理和基本结构。
硅微加速度计操作原理
【摘 要】
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本文在大量研究的基础上，说明了可能作为加速度计操作原理的几种方案，介绍了这几种方案的基本原理和基本结构。
【机 构】
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清华大学精密仪器与机械学系
【出 处】
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测试技术学报
【发表日期】
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1998年2期
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