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质量流量控制器（ＭＦＣ）是一种闭环控制器，能根据设定值对气体“量”进行精确稳定控制，而不受气体压力、温度的影响。
质量流量控制器控制原理分析
【摘 要】
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质量流量控制器（ＭＦＣ）是一种闭环控制器，能根据设定值对气体“量”进行精确稳定控制，而不受气体压力、温度的影响。
【机 构】
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深爱半导体有限公司
【出 处】
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电子工业专用设备
【发表日期】
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1998年04期
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