【摘 要】
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二次离子质谱(Secondary Ion Mass Spectroscopy简称SIMS)和离子探针(Ion Microprobe Mass Analysis简称IMA)。二次离子质谱和离子探针是用隋性气体的离子束轰击试样表面,它
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二次离子质谱(Secondary Ion Mass Spectroscopy简称SIMS)和离子探针(Ion Microprobe Mass Analysis简称IMA)。二次离子质谱和离子探针是用隋性气体的离子束轰击试样表面,它与试样原子碰撞经复杂的相互作用后,电离出具有标识性的二次离子,分析这些离子的质荷比来确定表面的成分。这种方法在实际上对试样是有破坏作用的。
Secondary Ion Mass Spectroscopy (SIMS) and Ion Microprobe Mass Analysis (IMA). Secondary ion mass spectrometry and ion probe is the inert gas ion beam bombardment of the sample surface, it collided with the sample atoms through complex interactions, the ionization of the identification of secondary ions, ion mass analysis of these ions Than to determine the surface composition. This method actually has a damaging effect on the sample.
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