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【摘 要】
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金属有机化学气相沉积能连续、快速的沉积高温超导带材YBa2Cu3O7-x(YBCO)超导层.但金属有机源的利用率与薄膜沉积速率以及沉积一致性难以兼顾,制备YBCO高温超导带材的成本居
【机 构】
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电子科技大学电子薄膜与集成器件国家重点实验室 成都 610054
【出 处】
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真空科学与技术学报
【发表日期】
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2019年6期
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