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化学刻蚀是石英传感器制造中常用的工艺方法。化学刻蚀必须解决腐蚀液和保护膜两大问题，腐蚀液浓度，温度，石英材料的质量，抛光质量等对传感器表质量，尺寸精度，性能有影响。
石英传感器刻蚀工艺研究
【摘 要】
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化学刻蚀是石英传感器制造中常用的工艺方法。化学刻蚀必须解决腐蚀液和保护膜两大问题，腐蚀液浓度，温度，石英材料的质量，抛光质量等对传感器表质量，尺寸精度，性能有影响。
【机 构】
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哈尔滨工程大学707＃,哈尔滨铁路成人中专150001,150001,150001
【出 处】
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传感器世界
【发表日期】
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1998年3期
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