测量透明物体表面形状与厚度非接触式光学传感器的发展

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本文介绍测量通明元件如液晶显示玻璃板形状与厚度非接触式光学传感器。测量透明板形状或厚度的常规方法是采用接触式传感器例如线性可变差示变量器。由于传感器触针与物体表面接触,触针会磨耗。此外,玻璃在高温下铸塑,会使传感器本体尺寸增大。这些因素使传感器精度降低。为克服这些问题,提出一种结构简单成本低的非接触式光学传感器,它由全息激光组件(CD光盘唱机光拾音器使用的组件)和一片塑料透镜组成。为评价所提出光学传感器的性能,在各种不同的测量条件下作了一系列测量实验。实验证明,所提出传感器测量透明板形状有着卓越性能。
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