基于MEMS技术新型硅磁敏三极管负阻-振荡特性

来源 :半导体学报 | 被引量 : 0次 | 上传用户:acdd5230351
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介绍了一种新型硅磁电负阻-振荡器件——S型负阻-振荡硅磁敏三极管.该器件是基于MEMS技术在p型高阻单晶硅片上制作的具有立体结构的新型磁电转换器件,采用KOH各向异性腐蚀技术实现发射区及引线的制作.实验结果表明,集电极电流随外加磁场的变化而变化;在基极注入电流一定时,出现集电极电流受外加偏压Ke调制的负阻一振荡特性,且集电极电流振荡随外加磁场而变化.对该器件负阻一振荡特性的形成机理进行了讨论,结果表明,在集电区n^+π结和基区与π区形成的p^+π结均处于反偏条件下,当π区满足雪崩倍增效应产生的条件时,该磁
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