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【摘 要】
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本文从应用的角度介绍平面波导传感器的概念及制备方法，在实验的基础上分析和讨论了Ｔａ_２Ｏ_５平面波导湿度传感器的原理，结构与特性测试方法，为开展集成光学平面波导传感器研究提供理论
【机 构】
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中国科学院光电技术研究所，微细加工光学技术国家重点实验室
【出 处】
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光学学报
【发表日期】
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1994年06期
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