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  5. MEMS兼容PZT压电厚膜的性能测试

MEMS兼容PZT压电厚膜的性能测试

来源 :光学精密工程 | 被引量 : 0次 | 上传用户：liangjingyu1
【摘 要】
：
丝网印刷法制备PZT厚膜工艺与MEMS技术兼容.通过调整PZT印刷浆料粘度,并采取多次套印、多次退火及合理的烧结工艺,在硅膜片上获得了较致密的PZT厚膜.采用悬臂梁方法对制备的A
【作 者】
：
王蔚 刘晓为 兰慕杰 霍明学 
【机 构】
：
哈尔滨工业大学
【出 处】
：
光学精密工程
【发表日期】
：
2004年z1期
【关键词】
：
PZT 压电厚膜 丝网印刷 MEMS 
【基金项目】
：
哈尔滨工业大学跨学科交叉性研究基金资助项目(HIT.MD2001.01)
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丝网印刷法制备PZT厚膜工艺与MEMS技术兼容.通过调整PZT印刷浆料粘度,并采取多次套印、多次退火及合理的烧结工艺,在硅膜片上获得了较致密的PZT厚膜.采用悬臂梁方法对制备的Ag/PZT/SiO2/n+Si结构复合压电厚膜进行了直接测试,结果表明PZT压电厚膜的压电常数d31可达70×10-12m/V,以此方法制备的压电厚膜适合作为MEMS执行器的微驱动元件.
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