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利用全息-离子束刻蚀工艺制作了工作波长为13．9nm的Laminar分束光栅。光栅的线密度为1000lp／mm，槽深13nm，占宽比0．43，Au膜厚度为40nm左右；当工作波长为13．9nm，入射角为81．2°时，其0级与-1级衍射光衍射效率乘积的最大值为8．1%，同时0级与1级衍射效率亦接近，约为27％和30％。实验结果表明，研制的Laminar光栅可用于13．9nm激光的分束，能够获得〉7％的分束效率。