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介绍了室温非制冷型热释电薄膜红外探测器的原理和优势.从热释电材料的选择及器件的结构设计等方面阐述了热释电薄膜红外探测器的制备技术和研究动向,并归纳了器件的主要应用领域.
非制冷型热释电薄膜红外探测器的制备及应用
【摘 要】
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介绍了室温非制冷型热释电薄膜红外探测器的原理和优势.从热释电材料的选择及器件的结构设计等方面阐述了热释电薄膜红外探测器的制备技术和研究动向,并归纳了器件的主要应用
【机 构】
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中国科学院电工研究所微纳电加工部
【出 处】
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激光与红外
【发表日期】
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2004年1期
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