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特种长光栅尺高真空镀膜机的研制
特种长光栅尺高真空镀膜机的研制
来源 :通用机械 | 被引量 : 0次 | 上传用户:teddycici
【摘 要】
:
用于特种长光栅尺镀膜的ZZ-600W高真空蒸发镀膜机的主要技术指标、结构及性能,并给出了典型的镀膜工艺参数.
【作 者】
:
柏树
李殿东
【机 构】
:
兰州真空设备有限责任公司
【出 处】
:
通用机械
【发表日期】
:
2005年10期
【关键词】
:
高真空
镀膜机
光栅
镀膜工艺
真空镀膜机
光栅尺
技术指标
真空蒸发
工艺参数
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用于特种长光栅尺镀膜的ZZ-600W高真空蒸发镀膜机的主要技术指标、结构及性能,并给出了典型的镀膜工艺参数.
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