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:本文介绍了一种与传统Cr掩模制作工艺相兼容的单层衰减相移掩模的结构、原理和制作方法 ,提供了部分实验结果。更多还原
一种简单的衰减相移掩模
【摘 要】
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:本文介绍了一种与传统Cr掩模制作工艺相兼容的单层衰减相移掩模的结构、原理和制作方法 ,提供了部分实验结果。更多还原
【机 构】
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四川大学物理系!成都610064中科院光电所微细加工光学技术国家重点实验室,成都双流610209,中科院光电所微细加工光学技术国家重点实验室!成都双流610209,中科院光电所微细加工光学技术国家重点
【出 处】
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激光杂志
【发表日期】
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2000年3期
【基金项目】
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中科院重大项目和中科院光电所所长基金资助
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