【摘 要】
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通过X射线光电子能谱仪研究ZrVFe吸气剂激活过程中表面成分的变化，采用四极质谱仪监测激活过程中真空腔体内残余气体成分的变化。结果表明：暴露于过大气的吸气剂表面覆盖着H2O
【机 构】
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北京有色金属研究总院先进电子材料研究所
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通过X射线光电子能谱仪研究ZrVFe吸气剂激活过程中表面成分的变化，采用四极质谱仪监测激活过程中真空腔体内残余气体成分的变化。结果表明：暴露于过大气的吸气剂表面覆盖着H2O、CO2及碳氢化合物等，Zr和V主要以氧化态存在；在吸气剂加热激活过程中，V的氧化物在200 ℃开始还原；激活过程导致表面近金属态Zr的富集以及部分金属碳化物的生成；随着温度的升高，H2O、CO2及碳氢化合物逐渐从吸气剂表面脱附，在200 ℃以上，主要脱附气体为H2，整个激活过程未发现O2；ZrO2还原为近金属态或金属态，主要是由于Zr
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