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人工合成金刚石的方法主要有高温高压法和化学气相沉积法两种。高温高压法制备的金刚石尺寸小，无法避免金属杂质使得制备的金刚石应用受到限制。在所有的化学气相沉积中，微波等离子体化学气相沉积法具有无放电污染，能量转换效率高，工艺参数易于调节等优点。用微波等离子体化学气相沉积法制备大尺寸、高速率、高质量的单晶金刚石受到广泛重视。介绍了微波等离子体化学气相沉积单晶金刚石的制备工艺，对提高金刚石生长速率，扩大金刚石单晶尺寸两个方面的研究进展进行了综述，并对单晶金刚石的前景进行了展望。