0-3型(Ba1-x-ySrxPby)(Mn,Ti)O3铁电厚膜的制备与表征

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铁电纳米超细粉体的合成与分散技术是成功制备0-3型铁电厚膜的关键和难点之一.采用Sol-Gel技术可制备呈球形软团聚、钙钛矿相结构完整的30 nm~70 nmMPBST超细粉体,以及致密无裂纹、表面光洁和铁电性能优良(Pr=3.8 μC/cm2)的0-3型铁电厚膜.通过TEM、XRD、TGA-DTA、AFM等手段分析了Sol-Gel工艺的化学机制和热演化历程,结果表明:采用以乙二醇乙醚为主要溶剂的Sol-Gel技术可降低MPBST粉体/厚膜的合成温度,提高粉体均匀性和晶相结构单一性.
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