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容积式、电磁式等可远传积算液体体积小流量仪表可测最小流量在１０＾－３～１０＾－２Ｌ／ｍｉｎ之间，但当代精细化工等需要更小的微流量１０＾－６～１０＾－３ｋｇ／ｍｉｎ仪表。概要的介绍已达到工业实用推广阶段的热分布热式质量流量计的工作原理和性能。例举了加温型和致冷型的原理和质量流量－温度差的关系式，几种型号仪表的性能规范：流量在０．０１～１００ｇ／ｍｉｎ之间，基本误差（０．５～１）％ＦＳ，液体最大使用粘