论文部分内容阅读
分析了旋转线性光栅法对准光轴与旋转机械轴中心的理论准确度,实验研究了极坐标激光直写系统的原点定位.在极坐标激光直写系统下进行了圆环线条写入实验,得出了原点定位的准确度,原点定位准确度优于0.5 μm,实验与理论定位准确度基本一致.
极坐标激光直写系统原点定位的实验研究
【摘 要】
：
分析了旋转线性光栅法对准光轴与旋转机械轴中心的理论准确度,实验研究了极坐标激光直写系统的原点定位.在极坐标激光直写系统下进行了圆环线条写入实验,得出了原点定位的准
【机 构】
：
南开大学现代光学研究所,中国科学院长春光机与物理研究所应用光学国家重点实验室,南开大学现代光学研究所
【出 处】
：
光子学报
【发表日期】
：
2004年10期
其他文献
提出了一种利用图像处理手段获取舰船尾流中气泡大小和密度的新方法.该方法对利用高速数字摄影设备拍摄的尾流图像进行处理;具有直观、实时、高效等特点,可以方便地应用在实际的工程项目中.
设计了可检测十二指肠胃返流的光纤传感器，该传感器由470nm的信号光、595nm参考光和光纤束构成，主要检测十二指肠返流物中的胆红素在470nm与595nm的吸光度，本文还对影响传感器检
针对多粒度应用，开发了一种用于流量疏导的波群模型，并引入一种基于此模型的新型智能交换结构。该光交换结构提供了独特的区分粒度到相应隧道进行有效处理的方法．此外，还讨论了控
《北京晚报》2010年1月21日刊登记者丁肇文的报道指出，大学毕业生就业形势年年吃紧，而已就业的大学生日子也不好过。一项针对2Q09届已就业大学毕业生的最新调查显示：应届大学毕
由中央党校中国马克思主义研究基金会和青海省委党校共同举办的“十二五规划与经济社会发展”理论研讨会7月27日在青海省委党校新时代大厦召开。来自中央党校、全国党校系统
为满足海军部队后勤保障灵活性需求，节约物资库存成本，在随机需求、随机提前期的条件下，以成本最小化为目标，构建基于非中心化混合存储策略的军事供应链多级库存管理模型，设计遗传
使用TPS-1便携式光合仪结合Farquhar和Sharkey的理论测定或计算增强UV-B辐射、多效唑（PP333）及其复合处理幼苗的相关光合指标，并同时测定核酮糖-1，5-二磷酸羧化／加氧酶（Rubisco）含量
为了提高左心室辅助装置运行的稳定性,研究了模糊免疫PID控制在左心室辅助装置控制系统中的应用.首先,分析了辅助装置的工作原理及其系统建模；其次,对模糊免疫PID控制算法进行
针对一种利用光测图像获取飞行目标空中姿态的方法,建立数学模型,并基于该模型,深入研究了目标姿态角的测量误差问题.结论:像面直线的截距提取误差对交会结果影响很小,倾角提取误差影响较大;两交会平面之间夹角过小将大大降低交会结果的可靠程度,实际测量时必须保证交会角足够大.考虑了该方法使用中的一些细节,为该方法的具体实现提供了依据.