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美国Siargo上市了机床用MEMS流量传感器“FPX4008S”系列，主要用于可测量油气混合物（压缩空气和油液的混合物）流速的机床机械部分轴承部位的油气混合物供应的优化控制。此次通过配备压缩空气检测用和油液检测用两个MEMS传感器，可在更接近轴承的位置进行检测。
可在油气混合状态下测量的MEMS流量传感器
【摘 要】
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美国Siargo上市了机床用MEMS流量传感器“FPX4008S”系列，主要用于可测量油气混合物（压缩空气和油液的混合物）流速的机床机械部分轴承部位的油气混合物供应的优化控制。此次通过
【出 处】
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机电工程技术
【发表日期】
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2009年5期
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