【摘 要】
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随着薄膜传感器在航空工业中的应用,高温绝缘层的研究发展愈加重要。在此研究背景下,采用双离子束溅射的方法制备了Al2 O3薄膜高温绝缘层,探讨了溅射时的衬底温度对Al2 O3薄
【机 构】
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上海交通大学微纳电子学系,北京长城航空测控技术研究所先进传感器技术中心,状态监测特种传感技术航空科技重点实验室
【基金项目】
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国家自然科学基金(11461063),新疆维吾尔自治区自然科学基金(2017D01A24),新疆财经大学基金(2019XTD002)
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随着薄膜传感器在航空工业中的应用,高温绝缘层的研究发展愈加重要。在此研究背景下,采用双离子束溅射的方法制备了Al2 O3薄膜高温绝缘层,探讨了溅射时的衬底温度对Al2 O3薄膜物相结构的影响,并研究了所制备的Al2 O3薄膜从室温至1000℃范围内的绝缘特性。另外,本文还将所制备的Al2 O3薄膜高温绝缘层应用在热阻型温度传感器中,测试了其在高温环境中的表现。结果表明:双离子束溅射沉积的Al2 O3薄膜主要以非晶形式存在,薄膜断面的微观形貌致密;2μm厚度的Al2 O3薄膜的室温电阻可达2 GΩ,800℃
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