Langmuir探针在等离子体诊断中的抗干扰方法

来源 :真空科学与技术学报 | 被引量 : 0次 | 上传用户:rechen216
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本文介绍了三种Langmuir探针在等离子体诊断中抗干扰的方法:积分平均技术--采用积分电路,有效抑制波动干扰,提高探针信噪比;滤波器--利用同轴电缆构成级连滤波器网络,消除射频源基频及谐频干扰;差分放大器--两根同轴电缆与差分放大器配合使用,消除由于同轴电缆电阻电容(RC)特性引起的诱导噪音.上述方法分别从抗干扰原理、抗干扰装置和实验结果三方面予以了说明,指出了目前使用Langmuir探针进行等离子体诊断时存在的问题,并提出了解决方案.
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