【摘 要】
：
<正> 一、前言 一般地说,氧是半导体材料硅中含量最多的杂质,其含量可达10~(18)cm~(-3)数量级。硅中的氧兼有优缺点。优点为“吸除效应”和“钉扎效应”;缺点是单晶的电阻率
【机 构】
：
北京有色金属研究总院,北京有色金属研究总院
论文部分内容阅读
<正> 一、前言 一般地说,氧是半导体材料硅中含量最多的杂质,其含量可达10~(18)cm~(-3)数量级。硅中的氧兼有优缺点。优点为“吸除效应”和“钉扎效应”;缺点是单晶的电阻率和寿命会受影响,易出现诱生缺陷,晶片可能变形。优点对器件工艺有利,缺点对器件工艺有害,使晶片质量变坏。 众所周知,不同器件要求不同的氧含量:p型(100),[O]=1.0～1.3×10~(18)cm~(-3),用于MOS;n型(100),[O]=1.3
其他文献
近几年,我国建筑工程技术取得了显著的进步,不过建筑行业在发展的同时,也严重影响到我国的自然环境,导致环境受到破坏,激化了生态环境、建筑工程建设两者间的矛盾。装配式混
新形势下,伴随着市场经济的不断发展以及不动产登记机构的逐渐确立和增加,不动产登记体系也得到了相应的调整,全国大多数城市都已经相继开展了不动产权籍的地籍的调查和调整
<正>收到东海县幸福路小学的几期儿童诗报,翻阅欣赏,仿佛看到一颗颗翠绿的童心。且看王心童小朋友写的《老天爷》:都说天是老天爷/它哪是个爷/分明就像我家/调皮的小弟弟眼泪
本文从两个方面对疯女人伯莎形象进行了分析,认为该形象的表层意义是构成简·爱与罗切斯特结婚的障碍;其深层意义是伯莎作为一个不幸的女人、弃妇的代表,同简·爱一起,向以男
"二本三枢"理论来源于《伤寒论》,详细描述了人体之气的生成、运动变化,深刻揭示了气机调畅的重要性和其升降出入的生理过程和病理变化;熟练运用,能更好地提高辨证施治的准确
本文给出了一种设计局Q高阶有源低通滤波器的方法,并利用计算机的优化方法,使设计的滤波器获得了较为理想的结果.该电路具有位能稳定可靠,调试方便,体积小等优点,适用于模快
我国目前存在核算型会计总体过剩、管理型会计不足等情况,而"一带一路"视域下的金融合作、产业合作、能源开发、基础设施建设及区域共赢等对会计提出了全新需求,因此,深化会
本文研究了胺醇类萃取剂TAB-194在HCl、H<sub>2</sub>SO<sub>4</sub>、HNO<sub>3</sub>三种体系中萃取铼的性能、萃取机理和萃合物的组成以及反萃取情况,并通过红外光谱研究
由于节点的高速移动以及拓扑结构的动态性,传统路由协议不能有效地适用于车载自组织网络。为此,利用梯度理论,提出了一种基于节点梯度的路由协议(node gradient routing,NGR)